PSFM™

반도체, FPD, 태양전지 생산 설비의 실시간 공정 불량 또는 이상 징후를 사전에 검출하는 시스템으로 설비에서 발생하는 공정 Data, Event, Alarm 등을 실시간 수집과 모델링 기법을 통한 분석으로 불량 방지 및 원인을 쉽고 빠르게 분석하는 솔루션입니다. PSFM은 순수 국내 제품으로써 APC 수행 지원이 용이하며 사용자 위주의 GUI로 구성되어 있으며 기본 FDC 기능 뿐 아니라 각종 아날로그 및 외부 센서 데이터를 추가하여 같이 분석할 수 있어 더욱 정밀하게 공정관리 할 수 있습니다.

PSFM™ Function View

• Whole-FAB View & Central Management
• Reference & OCAP Management
• MPS(Machine Performance Status) View
• Pareto Analysis Chart

• EQ / Chamber / Lot / Wafer Current Status View
• Management Access Authorization
• Multi-EQ / Multi-Chamber Analysis
• Alarm Status View

• Data Analysis-UVA & MVAt
• Variable Data Plotting
• Reference Management
• User friendly Interface
• Adaptive Model Generation and Monitoring

• Statistic Analysis Chart
• Contribution Value Chart
• Easy Filtering Option Function
• Auto Report – Daily, Weekly,,,
• Auto Macro Report-Raw Data View